Растровая электронная микроскопия и гранулометрический анализ поверхностных образований

Технологическая группа "ИНСОЛТ" предлагает проведение электронно-микроскопических исследований и статистический анализ распределения поверхностных образований методом визуального анализа на современном сканирующем растровом электронном микроскопе Inspect S50.

О методе

Гранулометрический анализ - совокупность методов определения размеров и количественного соотношения частиц, составляющих объект исследования. На первый взгляд вопрос что такое частица является элементарным. Однако он является основополагающим для понимания результатов, получаемых различными методами анализа размеров частиц. Существует большое количество методов определения характеристик порошкообразных (диспергированных) систем, от механических до лазерных. Тем не менее, для определения характеристик объектов, включений, которые не могут быть механически выделены из объекта, метод визуального статистического анализа является основным. Еще одной проблемой при анализе объектов является агломерация частиц. Некорректное определение размеров приводит к завышению определения среднего и дисперсии по размерам, поэтому важное значение при гранулометрическом анализе имеет правильная подготовка образца для исследования. К определяемым характеристикам могут быть отнесены линейные и эквивалентные размеры, форма частиц, характеристики распределения форм и размеров и т.д., знания о которых могут помочь на различных этапах производства.

Анализируемые характеристики

  • Линейные размеры образований, характеризуемые большой и малой осью эквивалентного эллипса
  • Соотношение линейных размеров образований
  • Эквивалентный диаметр округлых частиц, соотнесенных с выделяемой площадью
  • Фактор формы и Округлость
  • Эквивалентная масса частиц с известной плотностью
  • Гистограммы распределения диаметра, фактора формы, массы по выборке
  • Ассиметрия, эксцесс распределения
  • Средний эквивалентный диаметр D[1,0] и медиана распределения
  • D[3,2] - средневзвешенный на площадь поверхности: средний диаметр Саутера
  • D[4,3] - средневзвешенный на массу или объем: средний диаметр Де Брукера/Хардена

Проводится расчет и построение гистограмм распределения. Статистический анализ объектов на поверхности производится с характерными размерами не менее 50 нм.